一、清朝时期

清顺治六年（1649年）建旗时，全旗共有13哈喇49苏木。清乾隆六年（1736年），旗东部3个哈喇13个苏木划出另建鄂尔多斯右翼前末旗。清乾隆五年（1740年）伊克昭盟地图上，鄂尔多斯右翼前旗（乌审旗）有36个苏木。后全旗有9个哈喇、42个苏木，其中1个苏木与哈喇平行，成为10个哈喇、42个苏木。乌审哈喇辖有4个苏木，伊克克烈惕（大克烈惕）哈喇辖6个苏木，巴嘎克烈惕（小克烈惕）哈喇辖5个苏木，察哈尔哈喇辖5个苏木，伯速特哈喇辖4个苏木，哈日哈腾哈喇辖4个苏木，卫郭尔沁哈喇辖5个苏木，道特拉哈喇（王府内人员组成）辖4个苏木，图斯道特拉哈喇（王府内亲近人组成）辖4个苏木，昆迪哈喇（由孤寡弱残外来等人员组成，原为苏木后升为哈喇）辖1个苏木。

二、民国时期

（一）哈喇、苏木制

全旗仍为10个哈喇、42个苏木。

1.乌审哈喇：有4个苏木。大苏木、小苏木，其他两个苏木名称失考。分布在今巴彦柴达木乡和陶利、嘎鲁图苏木周围。

2.伊克克烈惕哈喇：有6个苏木。大苏木、第二苏木、第三苏木、第四苏木、第五苏木、珠拉扎嘎苏木。分布于今河南乡、沙尔利格苏木一带。石砭庙为哈喇庙。

3.巴嘎克烈惕哈喇：有5个苏木。大苏木、其他4个苏木名称失考。分布于今河南乡、沙尔利格苏木一带。包日呼舒庙为哈喇庙。

4.察哈尔哈喇：有5个苏木。大苏木、第二苏木、第三苏木、第四苏木、珠拉扎嘎苏木。分布于今陶利苏木塔拉音乌素嘎查、纳林河乡毛布拉格村、陶利嘎查一带。新庙为哈喇庙。

5.伯速特哈喇：有4个苏木。大苏木、小苏木、杭盖苏木、萨拉高勒苏木。分布于今乌兰陶勒盖苏木芒哈图庙、乌兰陶勒盖庙、嘎鲁图苏木呼和淖一带。芒哈图庙为哈喇庙。

6.哈日哈腾哈喇：有4个苏木。大苏木、第二苏木、小苏木、珠拉扎嘎苏木。原分布于河南乡至草山梁一带，后迁徙到今嘎鲁图苏木呼和陶勒盖、呼和淖尔及图克苏木梅林庙一带。梅林庙为哈喇庙。

7.卫郭尔沁哈喇：有5个苏木。大苏木、第二苏木、第三苏木、第四苏木、珠拉扎嘎苏木。原分布于今陕西榆林市岔河子、大小吉汉、金肯敖包一带，后迁徙到今嘎鲁图苏木斯布呼勒、沙如勒努图格嘎查、陶利苏木陶日木音苏莫一带。金肯敖包为哈喇敖包，嘎鲁图庙为哈喇庙。

8.道特拉哈喇：有4个苏木。苏木名称失考。分布于今乌审召的查干苏莫、巴彦陶勒盖、浩勒报吉、图克的陶报格、乌兰陶勒盖的塔玛嘎来、达布察克一带。巴彦陶勒盖庙为哈喇庙。

9.图斯道特拉哈喇：有4个苏木。苏木名称失考。分布同道特拉哈喇，庙亦同。

10.昆迪哈喇：有1个苏木，为昆迪苏木。（一说，昆迪哈喇2个苏木，第2个苏木为沙弥苏木，由喇嘛等神职人员组成，又称喇嘛苏木，今从前说，存疑待考）。分布较散落，乌审召的布日都及陶日木音苏莫部分地区。陶日木音庙为哈喇庙。

哈喇苏木制受到嘎查努图克区划的冲击，名存实亡，但延续到1949年。

（二）嘎查、努图克、保甲制

民国15年（1926年）底，席尼喇嘛领导军队掌握了全旗军政大权，建立了党政一体化的内蒙古人民革命党乌审旗委员会及所属的19个支部。民国17年（1928年），乌审旗19个内蒙古人民革命党支部改为19个嘎查。民国18年（1929年），内蒙古人民革命党被取缔。民国27年（1938年）后，嘎查改为努图克。嘎查、努图克共19个。嘎查（努图克）名称及分布范围：

 巴彦陶勒盖今乌审召地区

 达日汗喇嘛今图克地区 

 梅林苏莫 今图克地区 

 查干苏莫 今乌审召地区

 希 布 日 今乌兰陶勒盖地区

 呼吉尔图 今乌审召、图克交界地区 

 芒 哈 图 今乌兰陶勒盖地区

 达布察克 今达布察克地区 

 新庙 今陶利塔拉音乌素地区

 铁木尔敖包今嘎鲁图呼和淖尔地区

 杭锦斯布呼勒 今嘎鲁图沙茹勒努图格地区

 伊克纳林 今陶利与陶日木音苏莫交界地区

 陶利 今陶利地区 

 通史 今陶利通史地区 

 苏莫 今沙尔利格地区 

 朝代 今沙尔利格朝代地区 

 包日呼德 今沙尔利格包日呼德地区 

 昌黄 今沙尔利格昌黄地区 

 乌尔都比也今河南地区 

民国29年（1940年）后，全旗设保甲制，共划19个保。由嘎查（努图克）改建。保下设若干个甲。民国36年（1947年），全旗在保之上设5个乡，乡由若干个保组成。民国37年（1948年），将铁木尔敖包保分设为呼和淖尔、呼和陶勒盖2个保。至此，乌审旗有20个保，但不包括今纳林河、黄陶勒盖、呼吉尔图部分地区，上述地区的汉族居民行政上隶属于陕西榆林、横山两县。

三、中华人民共和国时期

（一）区、村、乡

1950年9月，乌审旗人民政府实行新的行政区划。全旗划为7个区，第一区（驻小石砭）、第二区（驻沙尔利格庙）、第三区（驻庙滩）、第四区（驻新庙）、第五区（驻芒哈图庙）、第六区（驻乌审召）、第七区（驻呼吉尔图）。7个区下辖29个行政村。1951年，六区乌审召庙增设1个喇嘛行政村，全旗为30个行政村。

1953年11月，在30个行政村的基础上划为33个乡。一区3个乡：尔林川乡、大石砭乡、小石砭乡。二区4个乡：昌黄乡、朝代乡、包日呼德乡、沙尔利格乡。三区2个乡：张冯畔乡、纳林河乡。四区6个乡：新庙乡、通史乡、陶利乡、巴彦亥乡、海流图乡、巴彦柴达木乡。五区6个乡：达布察克乡、布寨乡、石砭乡、呼和陶勒盖乡、呼和淖尔乡、杭锦斯布呼勒乡。六区8个乡：乌兰沙巴尔台乡、陶报格乡、达日汗喇嘛乡、巴彦陶勒盖乡、查干苏莫乡、乌审召乡、中乃乡、巴嘎淖尔乡。七区4个乡：黄陶勒盖乡、梅林庙乡、呼吉尔图乡、牛地乡。1954年1月6日，巴图湾乡划归乌审旗后，归第三区管辖。至此全旗34个乡。

1955年10月1日，第一、第三两个区建制撤销，合建为河南区。河南区辖尔林川、大石砭、小石砭、张冯畔、纳林河、巴图湾6个乡。全旗6个区名称改按地名称呼：河南区、沙尔利格区（原二区）、新庙区（原四区）、达布察克区（原五区）、乌审召区（原六区）、呼吉图特区（原七区）。

1956年4月，乌审旗人民政府将乌审召区所辖的中乃、乌兰沙巴尔台、巴嘎淖尔3个乡划归呼吉尔图区，将呼吉尔图区梅林庙乡部分划归乌审召区。乌审召区辖乌审召、达日汗喇嘛、查干庙、巴彦陶勒盖、陶报格、梅林庙6个乡。呼吉尔图区辖呼吉尔图、大牛地、黄陶勒盖、中乃、乌兰沙巴尔台、巴嘎淖尔6个乡。

（二）区、乡、苏木、镇

1956年8月15日，乌审旗人民政府撤销沙尔利格区、新庙区、达布察克区、乌审召区等4个区及所属21个乡的区划建制，改建为沙尔利格、陶利、嘎鲁图、乌兰陶勒盖、图克、乌审召6个苏木。同时，河南区、呼吉尔图区仍保留区的建制；河南区6个乡合并为3个乡，尔林川乡与大石砭乡合并为大石砭乡，巴图湾乡与小石砭乡合并为小石砭乡，张冯畔乡与纳林河乡合并为纳林河乡。呼吉尔图区6个乡，撤销1个乡，中乃乡与巴嘎淖尔乡合并为阿都亥乡，呼吉尔图乡与原乌审召区的梅林庙乡部分合并：辖阿都亥乡、乌兰沙巴尔台乡、黄陶勒盖乡、呼吉尔特乡、大牛地乡5个乡。同时，原新庙区的巴彦柴达木乡和海流图乡合并为巴彦柴达木乡，原新庙区新庙乡的毛布拉格与通史乡的花尔滩和河南区纳林河乡的宝日尔陶勒盖组成都嘎尔湾乡，在旗人民政府所在地新建1个乡级镇达布察克镇；巴彦柴达木乡、都嘎尔湾乡、达布察克镇为旗直属乡镇。8月16日，新建的17个苏木、乡、镇区划单位行使新的职能。6个苏木下辖51个巴嘎，沙尔利格苏木12个巴嘎，陶利苏木7个巴嘎，嘎鲁图苏木9个巴嘎，乌兰陶勒盖苏木5个巴嘎，乌审召苏木9个巴嘎，图克苏木9个巴嘎。

1958年6月15日，乌审旗人民委员会撤销了河南区、呼吉尔图区的建制，两个区所辖的乡由旗直接领导。8月10日，撤销大牛地乡的建制，大牛地乡与呼吉尔图乡合并。

（三）人民公社

1958年底，在原有乡、苏木、镇的基础上改建为11个人民公社：大石砭乡与小石砭乡并建为河南人民公社，纳林河乡与都嘎尔湾乡建为纳林河人民公社，沙尔利格苏木建为沙尔利格人民公社，陶利苏木建为陶利人民公社，巴彦柴达木乡建为巴彦柴达木人民公社，嘎鲁图苏木建为席尼喇嘛（后改称嘎鲁图）人民公社，乌兰陶勒盖苏木与黄陶勒盖乡并建为乌兰陶勒盖人民公社，呼吉尔图乡建为呼吉尔图人民公社，图克苏木与乌兰沙巴尔台乡并建为图克人民公社，乌审召苏木与阿都亥乡并建为乌审召人民公社，达布察克镇改建为达布察克镇人民公社。1962年9月25日，乌审旗人民委员会决定，从乌审召人民公社中分设出原阿都亥乡新建浩勒报吉人民公社，从图克人民公社中分设出原乌兰沙巴尔台乡，新建乌兰沙巴尔台人民公社，从乌兰陶勒盖人民公社分设出原黄陶勒盖乡，新建黄陶勒盖人民公社。至此全旗已有14个人民公社，下辖64个大队，307个生产队。1980年恢复达布察克镇建制。1982年，13个公社1个镇下辖75个生产大队，426个生产队。

（四）苏木、乡、镇

1982年，沙尔利格、陶利、嘎鲁图、乌兰陶勒盖、图克、乌审召6个人民公社改为6个苏木。1983年，河南、纳林河、巴彦柴达木、黄陶勒盖、呼吉尔图、乌兰沙巴尔台、浩勒报吉7个人民公社改为7个乡。全旗6个苏木、7个乡、1个镇，另有2个场站，下设75个嘎查（村）。1994年，14个苏木、乡、镇有75个嘎查、村（其中嘎查30个），共有农牧业合作社410个。